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恭喜株式会社迪思科原田成规获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利晶片的加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111146115B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911064932.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权晶片的加工方法是由原田成规;松泽稔;木内逸人;淀良彰;荒川太朗;上里昌充;河村慧美子;藤井祐介;宫井俊辉;大前卷子设计研发完成,并于2019-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

晶片的加工方法在说明书摘要公布了:提供晶片的加工方法,不降低品质而形成器件芯片。该晶片的加工方法将在由分割预定线划分的正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件芯片,其中,该晶片的加工方法具有如下的工序:聚烯烃系片配设工序,将晶片定位于具有对晶片进行收纳的开口的框架的该开口内,将聚烯烃系片配设在晶片的背面和框架的外周上;一体化工序,对该聚烯烃系片进行加热,通过热压接使晶片与该框架借助该聚烯烃系片而一体化;分割工序,沿着该分割预定线照射对于该晶片具有吸收性的波长的激光束,形成分割槽而将该晶片分割成各个器件芯片;以及拾取工序,吹送空气而将器件芯片顶起,从该聚烯烃系片拾取各个该器件芯片。

本发明授权晶片的加工方法在权利要求书中公布了:1.一种晶片的加工方法,将在由分割预定线划分的正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件芯片,其特征在于,该晶片的加工方法具有如下的工序:聚烯烃系片配设工序,将晶片定位于具有对晶片进行收纳的开口的框架的该开口内,将不具有糊料层的聚烯烃系片配设在该晶片的背面和该框架的外周上;一体化工序,对该聚烯烃系片进行加热,通过热压接使该晶片与该框架借助该聚烯烃系片而一体化;分割工序,沿着该分割预定线对该晶片照射对于该晶片具有吸收性的波长的激光束,形成分割槽而将该晶片分割成各个器件芯片;以及拾取工序,从该聚烯烃系片侧吹送空气而将器件芯片一个一个地顶起,从该聚烯烃系片拾取该器件芯片,如果不对该聚烯烃系片进行加热,则该聚烯烃系片无法与该晶片和该框架一体化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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