恭喜欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔西格弗里德·克拉斯尼策获国家专利权
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龙图腾网恭喜欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔申请的专利阴极电弧引弧装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113454751B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980092490.3,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权阴极电弧引弧装置是由西格弗里德·克拉斯尼策;于尔格·哈格曼;安德烈亚斯·彼得·特雷霍尔茨;多米尼克·埃尔温·威德默设计研发完成,并于2019-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本阴极电弧引弧装置在说明书摘要公布了:一种用于将靶材阴极电弧沉积到基材上的引弧装置,该引弧装置包括触发指,其活动布置在接触位置与静止位置之间,其中在该接触位置中该触发指能物理接触相邻靶的侧表面,而在该静止位置中相邻靶不能被该触发指接触,其中在靶材的阴极电弧沉积期间,该触发指如此活动布置为在所述接触位置与静止位置之间,即,能将该触发指在靶材阴极电弧沉积期间被沉积的靶材污染减至最小。
本发明授权阴极电弧引弧装置在权利要求书中公布了:1.一种用于将靶材阴极电弧沉积到基材上的引弧装置,所述引弧装置包括:触发指,所述触发指能够活动布置在接触位置与静止位置之间,其中,在所述接触位置中所述触发指物理接触相邻靶的侧表面,而在所述静止位置中所述相邻靶不被所述触发指接触,其中,在靶材的阴极电弧沉积期间,所述触发指能够活动布置在所述接触位置与所述静止位置之间,从而能将所述触发指在靶材阴极电弧沉积期间的被沉积的靶材的污染减至最小,其中,所述引弧装置包括致动器,所述致动器用于使所述触发指在所述接触位置与所述静止位置之间移动,其中,所述触发指能在所述接触位置与所述静止位置之间通过所述致动器在不到50ms的时间内被移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔,其通讯地址为:瑞士苏黎世州普费菲孔;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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