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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利工件的保持方法和工件的处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111415862B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010004773.2，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权工件的保持方法和工件的处理方法是由宫城有佑;保罗·文森特·埃藤迪多设计研发完成，并于2020-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本工件的保持方法和工件的处理方法在说明书摘要公布了：提供工件的保持方法和工件的处理方法，在对呈碗状存在翘曲的工件进行保持并处理的情况下，不会因工件的按压而引起异物附着，利用保持面对工件进行吸引保持并实施适当的处理。一种呈碗状存在翘曲的工件的保持方法，包含如下的步骤：载置步骤，将工件W载置在保持单元30的保持面31上，该保持单元30具有：保持面31，其对工件进行保持；吸引孔320，其在保持面31上开口；以及吸引路33，其将吸引孔320选择性地与吸引源339连通；液体提供步骤，向保持面31上的工件W提供液体L而使液体L流入保持面31与工件W之间；以及吸引步骤，在实施了液体提供步骤之后，使吸引孔320与吸引源339连通而对工件W与液体L一起进行吸引，从而利用保持面31进行保持。

本发明授权工件的保持方法和工件的处理方法在权利要求书中公布了：1.一种工件的保持方法，该工件呈碗状存在翘曲，其中，该工件的保持方法具有如下的步骤：载置步骤，将工件载置在保持单元的保持面上，在工件的背面的外周侧的区域与该保持面之间形成由于该翘曲而产生的间隙，该保持单元具有：所述保持面，其对该工件进行保持；吸引孔，其在该保持面上开口；以及吸引路，其将该吸引孔选择性地与吸引构件连通；液体提供步骤，向该保持面上的工件的上表面的中央区域提供液体，使该液体在该工件上堆积并且向该工件的径向外侧扩展而使该液体流入该保持面与该工件之间；以及吸引步骤，在实施了该液体提供步骤并成为该液体通过表面张力在工件的上表面堆积而使该间隙持续充满该液体的状态之后，使该吸引孔与该吸引构件连通而对该工件与该液体一起进行吸引，从而利用该保持面进行保持。

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