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恭喜维耶尔公司戈尔拉玛瑞扎·恰吉获国家专利权

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龙图腾网恭喜维耶尔公司申请的专利用于微装置检验的探针结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113454467B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080014665.1,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权用于微装置检验的探针结构是由戈尔拉玛瑞扎·恰吉;朴昌镐设计研发完成,并于2020-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

用于微装置检验的探针结构在说明书摘要公布了:一种探针卡组合件包括:衬底;一或多个探针单元,其与所述衬底接触,每一探针单元包括:电极,其经集成于所述衬底上;桥接器,其经形成于所述电极之上以包括力传感器;探针,其具有经连接到所述桥接器的探针尖端,所述探针经偏置以允许测量经安置于晶片上的微装置的至少一个属性。所述探针卡中的探针阵列用于通过以下各者来测试微装置:使所述阵列与衬底上的对应微装置对准;将所述探针卡移动到所述微装置;使至少一个探针偏置以允许测量所述微装置的至少一个属性;监测至少一个属性的改变;及通过所述微装置的至少一个属性的所述改变来检测到所述微装置的连接。

本发明授权用于微装置检验的探针结构在权利要求书中公布了:1.一种探针卡组合件,其包括:衬底;一或多个探针单元,其与所述衬底接触,其中每一探针单元包括:力传感器或电极,其经集成于所述衬底上;桥接器,其经形成于所述力传感器或电极上方;及探针,其经形成于所述桥接器上且具有经连接到所述桥接器的探针尖端,其中所述探针经偏置以允许测量经安置于晶片上的微装置的至少一个属性。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人维耶尔公司,其通讯地址为:加拿大安大略;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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