恭喜西默有限公司E·A·梅森获国家专利权
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龙图腾网恭喜西默有限公司申请的专利压力控制式光谱特征调整器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113632327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080024272.9，技术领域涉及：H01S3/00；该发明授权压力控制式光谱特征调整器是由E·A·梅森;G·G·帕德马班杜设计研发完成，并于2020-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力控制式光谱特征调整器在说明书摘要公布了：一种装置包括气体放电系统，该气体放电系统包括气体放电腔室并且被配置为产生光束；以及光谱特征调整器，该光谱特征调整器与由气体放电腔室生成的前体光束光学连通。光谱特征调整器包括主体，该主体限定内部，该内部保持处于低于大气压力的压力；至少一个光学通路，该至少一个光学通路限定在气体放电腔室与主体的内部之间，该光学通路对于前体光束是透明的；以及光学元件集合，该光学元件集合位于内部内，该光学元件被配置为与前体光束相互作用。
本发明授权压力控制式光谱特征调整器在权利要求书中公布了：1.一种光谱特征调整器，包括：主体，限定内部，所述内部保持处于低于大气压力的压力；至少一个光学通路，穿过所述主体，所述光学通路对于波长在紫外范围内的光束是透明的；光学元件集合，位于所述内部内，所述集合中的所述光学元件被配置为与所述光束相互作用，其中所述光学元件集合包括一个或多个可致动光学元件；以及致动系统，位于所述内部内，所述致动系统与所述一个或多个可致动光学元件连通并且被配置为调整所述一个或多个可致动光学元件的物理方面，其中所述光谱特征调整器与控制装置通信，所述控制装置还与气体放电系统通信，所述气体放电系统包括气体放电腔室并且被配置为产生所述光束，所述控制装置被配置为：确定所述光谱特征调整器的所述主体的所述内部内的所述压力是否在压力的操作范围内；以及如果确定所述光谱特征调整器的所述主体的所述内部内的所述压力在压力的所述操作范围内，则从在待机模式下操作所述气体放电系统切换到在输出模式下操作所述气体放电系统。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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