恭喜TOTO株式会社籾山大获国家专利权
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龙图腾网恭喜TOTO株式会社申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111755376B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010227806.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘是由籾山大;佐佐木均设计研发完成，并于2020-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电吸盘，在极低温的环境下，能够抑制发生陶瓷电介体基板从基座板的剥离及陶瓷电介体基板的裂开。一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；金属制的基座板，支撑所述陶瓷电介体基板；及接合层，设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间且含有树脂材料，其特征为，满足相关于接合层的伸长率、接合强度、弹性模量的第1～第6条件中至少任意一个。
本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；金属制的基座板，支撑所述陶瓷电介体基板；及接合层，设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间，用于接合所述陶瓷电介体基板和所述基座板，且含有树脂材料，所述树脂材料为硅酮树脂，所述静电吸盘的特征为，满足以下第1条件、第2条件和第3条件中的任意一个，第1条件：-60℃下的所述接合层的伸长率α1为120％以上且在25℃下所述伸长率α1对于所述接合层的伸长率α2的比α1α2为0.60以上；第2条件：-60℃下的所述接合层的接合强度β1为0.4MPa以上、10MPa以下且在25℃下所述接合强度β1对于所述接合层的接合强度β2的比β1β2为0.6以上、10以下；第3条件：-60℃下的所述接合层的弹性模量γ1为0.1MPa以上、10MPa以下且在25℃下所述弹性模量γ1对于所述接合层的弹性模量γ2的比γ1γ2为0.6以上、30以下。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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