恭喜东京毅力科创株式会社小泉克之获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利载置台和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112349646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010760245.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权载置台和基板处理装置是由小泉克之;高桥雅典;江崎匠大设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供载置台和基板处理装置。对基板的最外周的温度进行控制。提供一种载置台，该载置台具有位于基板的外侧的第1面和载置基板的第2面，其中，该载置台与所述第1面对应地形成第1流路。
本发明授权载置台和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台，该载置台具有位于基板的外侧的第1面和载置基板的第2面，其中，与所述第1面对应地形成第1流路，在所述第1面设置环构件，该环构件位于所述基板的周围，所述第1流路的上表面的延长线与连结所述第1流路的上表面中靠近所述第2面的一侧的端部和所述第1面的内端部之间的线所成的角度为60°以下，将所述第1面与所述第1流路之间的垂直距离设为h，将自所述第1面与所述第2面之间的边界面到所述第1流路的水平距离设为d，此时，d＞h，所述载置台具有第1加热器，该第1加热器沿垂直方向设置在所述第1面与所述第1流路之间，并且被配置为控制所述环构件的温度，在从上方观察时，所述第1加热器沿水平方向设置在所述第2面与所述第1流路之间，并且所述第1加热器和所述第1流路彼此不重叠。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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