恭喜极光先进雷射株式会社藤本准一获国家专利权
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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115997324B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080102494.8,技术领域涉及:H01S3/1055;该发明授权激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法是由藤本准一;熊崎贵仁;铃木章义设计研发完成,并于2020-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:激光装置100具有:第1光学元件51和第2光学元件52;第1致动器512,其使第1光学元件51的姿态变化,由此使脉冲激光中包含的第1波长成分变化;第2致动器522,其使第2光学元件52的姿态变化,由此使脉冲激光中包含的第2波长成分变化;第1编码器513,其计测第1致动器512的位置;第2编码器523,其计测第2致动器522的位置;以及处理器130。处理器130读入第1致动器512的位置与第1波长成分之间的第1关系以及第2致动器522的位置与第2波长成分之间的第2关系,根据第1关系和由第1编码器513计测的第1致动器512的位置进行第1致动器512的控制,并根据第2关系和由第2编码器计测的第2致动器522的位置进行第2致动器522的控制。
本发明授权激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种激光装置,其具有:第1光学元件和第2光学元件;第1致动器,其使所述第1光学元件的姿态变化,由此使脉冲激光中包含的第1波长成分变化;第2致动器,其使所述第2光学元件的姿态变化,由此使所述脉冲激光中包含的第2波长成分变化;第1编码器,其计测所述第1致动器的位置;第2编码器,其计测所述第2致动器的位置;光计测器,其计测所述第1波长成分和所述第2波长成分;第3致动器,其使所述第1波长成分与所述第2波长成分的强度比变化;以及处理器,所述处理器在通过所述第3致动器使所述第1波长成分的比例大于所述第2波长成分的比例的状态下,使用所述光计测器计测所述第1波长成分,所述处理器将由所述第1编码器计测的所述第1致动器的位置与所述第1波长成分之间的关系,作为第1关系存储于存储装置,所述处理器在通过所述第3致动器使所述第2波长成分的比例大于所述第1波长成分的比例的状态下,使用所述光计测器计测所述第2波长成分,所述处理器将由所述第2编码器计测的所述第2致动器的位置与所述第2波长成分之间的关系,作为第2关系存储于所述存储装置,所述处理器读入所述第1关系以及所述第2关系,所述处理器根据所述第1关系和由所述第1编码器计测的所述第1致动器的位置进行所述第1致动器的控制,并根据所述第2关系和由所述第2编码器计测的所述第2致动器的位置进行所述第2致动器的控制。
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