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龙图腾网恭喜弗萨姆材料美国有限责任公司申请的专利用于去除蚀刻残留物的组合物及其使用方法和用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114450388B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067656.9，技术领域涉及：C11D11/00；该发明授权用于去除蚀刻残留物的组合物及其使用方法和用途是由孙来生;王莉莉;吴爱萍;李翊嘉;陈天牛设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于去除蚀刻残留物的组合物及其使用方法和用途在说明书摘要公布了：一种用于微电子器件或半导体衬底的方法和清洁组合物，其包括至少一种烷醇胺；至少一种羟胺或羟胺衍生物或其混合物；至少一种具有至少两个羧酸基团的多官能有机酸和水。该清洁组合物可进一步包括至少一种腐蚀抑制剂。

本发明授权用于去除蚀刻残留物的组合物及其使用方法和用途在权利要求书中公布了：1.一种用于清洁微电子器件或半导体衬底的组合物，其包含：i约5至约88wt％的至少一种烷醇胺，其中所述至少一种烷醇胺具有以下结构： 其中R1、R2和R3各自独立地选自：a氢，b1C1-C20直链烷基，b2C4-C20支链烷基，b3C3-C20环烷基；c未取代的C2-C20烷基醚基团；dC1-C20烷醇基团，e被-OH基团取代的C2-C20烷基醚基团；和其中R1、R2和R3中的至少一个必须是d或e；ii约5至约50wt％的至少一种羟胺或羟胺衍生物或其混合物，包含N-异丙基羟胺、N-甲基羟胺、二甲基羟胺、N-乙基羟胺、二乙基羟胺、N-丙基羟胺、二丙基羟胺和N-叔丁基羟胺、N,O-二甲基羟胺、O-甲基羟胺、O-乙基羟胺、O-丙基羟胺、硫酸羟胺、硝酸羟胺、盐酸羟胺、盐酸N-叔丁基羟胺、磷酸羟胺、乙酸羟胺、乙酸N-叔丁基羟胺、柠檬酸羟胺、羟胺、羟胺高氯酸盐、盐酸N-甲基羟胺中的一种或多种；iii约0.05至约20wt％的至少一种具有至少两个羧酸基团的多官能有机酸，包含草酸、丙二酸、苹果酸、酒石酸、琥珀酸、柠檬酸、乙二胺四乙酸EDTA、丁二胺四乙酸、1,2-环己二胺四乙酸CyDTA、二亚乙基三胺五乙酸DETPA、乙二胺四丙酸、羟乙基乙二胺三乙酸HEDTA、三亚乙基四胺六乙酸TTHA、1,3-二氨基-2-羟基丙烷-N,N,N',N'-四乙酸DHPTA、甲基亚氨基二乙酸、丙二胺四乙酸、次氮基三乙酸NTA和邻苯二甲酸中的一种或多种；和iv约10至约30wt％的水；其中所述组合物具有约9或更大的pH，包含小于0.1wt.％的含氟化合物、铵盐和水混溶性有机溶剂，以及其中术语“约”旨在对应于所述值的±5％。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人弗萨姆材料美国有限责任公司，其通讯地址为：美国亚利桑那州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。