恭喜东莞新科技术研究开发有限公司张建获国家专利权
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龙图腾网恭喜东莞新科技术研究开发有限公司申请的专利去除晶圆表面杂质的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114284130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011029784.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权去除晶圆表面杂质的方法是由张建设计研发完成，并于2020-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本去除晶圆表面杂质的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微电子技术领域，公开了一种去除晶圆表面杂质的方法，包括：采用碱溶液对晶圆进行清洗；采用乙醇溶液对所述晶圆进行清洗；将所述晶圆置于真空室中，对所述晶圆进行加热。采用本发明实施例，能够有效去除晶圆表面残留的氟离子杂质，从而提高了晶圆的良率。
本发明授权去除晶圆表面杂质的方法在权利要求书中公布了：1.一种去除晶圆表面杂质的方法，其特征在于，包括：采用碱溶液对晶圆进行清洗，用于去除直径10-15纳米的氟离子尘埃；采用乙醇溶液对所述晶圆进行清洗，用于去除直径5-10纳米的氟离子尘埃；将所述晶圆置于真空室中，对所述晶圆进行加热，用于去除0.5-5纳米的氟离子尘埃。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞新科技术研究开发有限公司，其通讯地址为：523087 广东省东莞市南城区宏远工业区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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