恭喜东京毅力科创株式会社金川耕三获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理系统和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112652552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011060753.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理系统和基板处理方法是由金川耕三;鹤崎广太郎;隐塚惠二;甲斐义广设计研发完成，并于2020-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理系统和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理系统和基板处理方法。提供能够使基板处理系统小型化的技术。基板处理系统具有：送入送出部，其用于送入送出收纳多片所述基板的盒；批量处理部，其成批地处理包含多片基板的批次；单片处理部，其逐片处理所述批次的所述基板；以及接口部，其在所述批量处理部和所述单片处理部之间交接所述基板，所述送入送出部、所述单片处理部、所述接口部、所述批量处理部以该顺序排列，所述接口部包括：批次形成部，其形成所述批次；以及输送部，其将所述基板从所述单片处理部向所述批次形成部输送且将所述基板从所述批量处理部向所述单片处理部输送。
本发明授权基板处理系统和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其中，该基板处理系统具有：送入送出部，其用于送入送出收纳了多片基板的盒；批量处理部，其成批地处理包含多片所述基板的批次；单片处理部，其逐片处理所述批次的所述基板；以及接口部，其在所述批量处理部和所述单片处理部之间交接所述基板，所述送入送出部、所述单片处理部、所述接口部、所述批量处理部以所述送入送出部、所述单片处理部、所述接口部、所述批量处理部的顺序排列，所述接口部包括：批次形成部，其用于形成所述批次；以及输送部，其将所述基板从所述单片处理部向所述批次形成部输送且将所述基板从所述批量处理部向所述单片处理部输送，其中，所述批量处理部包括处理槽，其贮存用于浸渍所述批次的处理液或雾状的处理液，其中，所述输送部将在所述处理液中被保持的所述基板从所述批量处理部的所述处理槽向所述单片处理部输送。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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