恭喜应用材料公司伊利亚·拉维特斯凯获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于物理气相沉积腔室的加热屏蔽获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115038808B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180010383.9，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权用于物理气相沉积腔室的加热屏蔽是由伊利亚·拉维特斯凯;基思·A·米勒;吉留刚一设计研发完成，并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于物理气相沉积腔室的加热屏蔽在说明书摘要公布了：本文提供在处理腔室中使用的处理屏蔽的实施例。在一些实施例中，在处理腔室中使用的处理屏蔽包括主体，所述主体具有圆柱形状，其中所述主体包括上部分及下部分，所述上部分具有外唇部且所述下部分从所述上部分向下且径向向内延伸，其中所述外唇部包括容纳紧固件的多个开口、从所述外唇部的外表面径向向内延伸的多个对准插槽、及凹口下周边边缘，且其中所述外唇部的下表面包括多个沟槽。
本发明授权用于物理气相沉积腔室的加热屏蔽在权利要求书中公布了：1.一种在处理腔室中使用的处理屏蔽，包括：主体，所述主体具有圆柱形状，其中所述主体包括上部分和下部分，所述上部分具有外唇部且所述下部分从所述上部分向下且径向向内延伸，其中所述外唇部包括容纳紧固件的多个开口、从所述外唇部的外表面径向向内延伸的多个对准插槽、及凹口下周边边缘，且其中所述外唇部的下表面包括多个沟槽。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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