恭喜深圳市三束镀膜技术有限公司战永刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市三束镀膜技术有限公司申请的专利一种封闭式挡板结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112921279B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110373738.2,技术领域涉及:C23C14/30;该发明授权一种封闭式挡板结构是由战永刚;金小桃;战捷;汤兆胜;尹强设计研发完成,并于2021-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种封闭式挡板结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种封闭式挡板结构,所述挡板结构包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构,所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构,所述挡板的侧壁上设有一开孔,所述开孔连接所述观察筒一端,所述观察筒固定于所述支撑架上,所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上,驱动所述支撑架升降和转动。本发明的挡板结构应用于电子枪镀膜装置上后,能够在膜料预熔时将蒸发源完全封闭,避免了坩埚周边的严重脏污和基片被污染的情况,且本挡板结构上还设有观察筒,可在挡板扣下时实时对膜料的熔料状况进行观察。本发明用于双电子枪的镀膜设备时,可防止两个坩埚的膜料相互污染。
本发明授权一种封闭式挡板结构在权利要求书中公布了:1.一种封闭式挡板结构,其特征在于,包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构,所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构,所述挡板的侧壁上设有一开孔,所述开孔连接所述观察筒一端,所述开孔的大小与所述观察筒的内截面大小形状相同,所述支撑架为三角形,所述观察筒固定在所述支撑架三角形斜边上,所述观察筒另一端指向镀膜机观察窗,所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上,驱动所述支撑架升降和转动,所述驱动机构包括:伸缩驱动器、连接板和旋转驱动器,所述伸缩驱动器固定于真空室的底板上,其动力输出端连接至所述连接板上,所述旋转驱动器固定于所述连接板上,所述旋转驱动器的动力输出端穿过所述连接板和真空室的底板与所述支撑架相连接,所述旋转驱动器的动力输出端与真空室的底板间设有一动密封件,所述动密封件为油封或磁流体密封件;还包括衬板和围筒,所述衬板固定在真空室的底板上且设有挖孔,所述挖孔位于电子枪阳极孔到电子束焦斑位置的区域上方;所述围筒固定于所述挖孔一周,罩住所述挖孔。
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