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龙图腾网恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安芯晖设备技术有限公司申请的专利一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114332031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111652575.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质是由薛兵;韩建峰设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介。晶圆中金属离子分布识别方法包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇形，且所述子区域的圆心和所述晶圆的圆心重合，每一所述灰度曲线对应一个所述子区域，且所述灰度曲线反应所述子区域沿半径方向的灰度变化；叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰度曲线；检测所述累加灰度曲线的波峰，其中，所述累加灰度曲线的波峰对应所述晶圆中的金属离子分布环。本发明实施例能够提高金属离子分布情况的评估的准确性和一致性。

本发明授权一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆中金属离子分布识别方法，其特征在于，包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇形，且所述子区域的圆心和所述晶圆的圆心重合，每一所述灰度曲线对应一个所述子区域，且所述灰度曲线反应所述子区域沿半径方向的灰度变化；叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰度曲线；检测所述累加灰度曲线的波峰，其中，所述累加灰度曲线的波峰对应所述晶圆中的金属离子分布环；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，包括：在第n个子区域内，沿着所述子区域的半径方向，获取各像素点的灰阶值以及所述像素点与所述子区域的圆心之间的距离，其中，n为大于或等于1且小于N的整数；以所述像素点与所述子区域的圆心之间的距离为第一维度的坐标，以所述像素点的灰阶值为第二维度的坐标绘制第n个子区域的灰度曲线；遍历所述N个子区域，获得与所述N个子区域对应的N条灰度曲线，其中，位于相邻两个子区域的边界上的点的灰阶值包含于至多一条所述灰度曲线；叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰度曲线，包括：以所述第一维度的坐标为基准，将所述N条灰度曲线的第二维度的坐标值叠加，获得累加灰度曲线。

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