恭喜苏州润邦半导体材料科技有限公司马晓明获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州润邦半导体材料科技有限公司申请的专利一种显影液组合物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114265289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111678801.X，技术领域涉及：G03F7/32；该发明授权一种显影液组合物是由马晓明;王健;杨晓松设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种显影液组合物在说明书摘要公布了：本发明公开了一种显影液组合物，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺。本发明的显影液，通过加入特定的有机胺，在确保分辨率的同时还可改善直线边缘的粗糙度及缺陷，扩大光刻工艺的窗口。
本发明授权一种显影液组合物在权利要求书中公布了：1.一种适用于正性光刻胶的负性显影工艺的显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂；所述显影液组合物为由如下各质量百分含量的组分组成：有机胺：0.01-1％、表面活性剂：0.01-1％，余量为有机溶剂；所述有机溶剂采用了浓度在95％以上的乙酸丁酯；所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺， ，其中，式Ⅱ中，R1选自-NH2、-CH2-NH2中的任意一种，R2选自-H、-OH、-CH3中的任意一种，n为1到20的整数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州润邦半导体材料科技有限公司，其通讯地址为：215634 江苏省苏州市张家港保税区港澳路15号传感产业园一楼北侧106A室(润邦)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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