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龙图腾网恭喜中国科学院空天信息创新研究院申请的专利一种激光等离子体型极紫外光刻机光源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115052406B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210720420.1，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权一种激光等离子体型极紫外光刻机光源系统是由万重怡设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光等离子体型极紫外光刻机光源系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种激光等离子体型极紫外LPP‑EUV光刻机光源系统，包括：主泵浦激光器，其采用高重复频率TEACO2激光系统，用于产生主脉冲激光；预泵浦皮秒激光器用于产生皮秒激光；光束合束装置，用于将主脉冲激光及皮秒激光进行合束，得到合束后的激光光束；靶材锡液粒发生器用于产生锡液粒串，锡液粒串在皮秒激光的轰击下形成雾状球，雾状球在主脉冲激光的轰击下形成高温等离子体进而发射13.5nm极紫外光；极紫外光收集镜用于收集及汇聚极紫外光。本公开提供的一种激光等离子体型极紫外光刻机光源系统，该光源系统相对小型化使得EUV光刻机具有紧凑、小型的优点，适于大批量生产供应市场，进一步换用钆靶材发生器或其他靶材可产生波长为6.7nm或更短波长的EUV光。

本发明授权一种激光等离子体型极紫外光刻机光源系统在权利要求书中公布了：1.一种LPP-EUV光刻机光源系统，其特征在于，包括：主泵浦激光器（1），其采用高重复频率TEACO2激光系统，用于产生主脉冲激光；预泵浦皮秒激光器（2），用于产生皮秒激光；光束合束装置（3），用于将所述主脉冲激光及所述皮秒激光进行合束，得到合束后的激光光束；靶材锡液粒发生器（4），用于产生锡液粒串，所述锡液粒串在所述皮秒激光的轰击下形成雾状球，所述雾状球在所述主脉冲激光的轰击下形成高温等离子体进而发射13.5nm极紫外光；极紫外光收集镜（5），用于收集及汇聚所述极紫外光；碎屑磁偏转器（6），其设置于泵浦激光聚焦镜（8）的焦点周围，用于清理所述锡液粒串被轰击后产生的离子碎屑；真空腔（7），用于为所述靶材锡液粒发生器（4）、极紫外光收集镜（5）及碎屑磁偏转器（6）提供真空环境；其中，所述真空腔（7）上设置所述泵浦激光聚焦镜（8），该泵浦激光聚焦镜（8）用于聚焦合束后的激光光束至液粒上；自动同步控制系统（9），其与所述主泵浦激光器（1）、所述预泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材锡液粒发生器（4）及所述碎屑磁偏转器（6）电连接，用于对所述主泵浦激光器（1）、所述预泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材锡液粒发生器（4）及所述碎屑磁偏转器（6）电控制；其中，所述预泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材锡液粒发生器（4）及所述碎屑磁偏转器（6）的脉冲重复频率与所述主泵浦激光器（1）相同；所述主泵浦激光器（1）采用MOPA激光结构，其中，所述MOPA激光结构包括：CO2激光主振荡器（11），用于产生脉冲激光；调制器（12），用于对脉冲激光进行调制得到种子激光；TEACO2激光功率放大器（13），用于对所述种子激光进行功率放大后输出，其中，所述TEACO2激光功率放大器（13）采用折叠光路，包括：第一折叠镜（131）及第二折叠镜（132），其中，所述第一折叠镜（131）与所述第二折叠镜（132）相对设置，用于反射光路进行功率放大。

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