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龙图腾网恭喜上海华虹宏力半导体制造有限公司申请的专利栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115267476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210899521.X，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置及测量方法是由李晶晶;陈培申;谢晋春设计研发完成，并于2022-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置，包括半导体器件，半导体器件包括源极、漏极、栅极和连接于源极和栅极间的栅极串联电阻，以及分别用于引出源极、漏极、栅极、栅极串联电阻的第一至四焊垫；测试机台，测试机台的探针卡包括用于漏端通道的第一、二漏端探针、用于源端通道的第一、二源端探针和用于栅端通道的栅端探针；控制器，控制器用于控制第一至四开关的关断或闭合状态，用以切换测量模式。本发明利用测试机台有表面漏极测试与共漏测试两种测试模式，相当于漏断有两条测试通路，借用表面漏极测试模式，针卡借用表面漏极测试通道，程序内使用开关完成源端与栅端的短接，从而达到一步测试完成栅极串联电阻及主芯片测试。

本发明授权栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种栅极串联电阻小焊垫器件的测量装置，其特征在于，包括：半导体器件，所述半导体器件包括源极、漏极、栅极和连接于所述源极和所述栅极间的栅极串联电阻，以及分别用于引出所述源极、所述漏极、所述栅极、所述栅极串联电阻的第一至四焊垫；测试机台，所述测试机台的探针卡包括用于漏端通道的第一、二漏端探针、用于源端通道的第一、二源端探针和用于栅端通道的栅端探针；控制器，所述控制器用于控制第一至四开关的关断或闭合状态，用以切换测量模式；其中，第四焊垫与第一漏端探针电性连接，且所述第一漏端探针与所述漏端通道间设有第一开关；第三焊垫与第一源端探针电性连接，且所述第一源端探针与所述源端通道间设有第二开关；第一焊垫与第二源端探针电性连接；所述第三焊垫与所述栅端探针电性连接，且所述栅端探针与所述栅端通道间设有第三开关；第二焊垫与第二漏端探针电性连接，且所述第二漏端探针与所述漏端通道间设有第四开关；所述测量模式包括第一、二测量模式，第一测量模式用于栅极串联电阻测试，第二测量模式用于主芯片测试；所述第一测量模式包括：闭合第一、二开关，断开第三、四开关，在所述第四焊垫、所述第三焊垫与所述测试机台间形成测试回路；所述第二测量模式包括：断开所述第一、二开关，闭合所述第三、四开关，在所述第二焊垫、第三焊垫与所述测试机台间形成测试回路。

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