恭喜江苏富乐德石英科技有限公司陈海源获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏富乐德石英科技有限公司申请的专利一种半导体材料脱蜡装置及其工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115532695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211116030.X，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种半导体材料脱蜡装置及其工艺是由陈海源;杨军;张月清设计研发完成，并于2022-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体材料脱蜡装置及其工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体材料脱蜡装置及其工艺，其装置包括水槽，所述水槽的两侧分别设有分别上料台和下料台，所述上料台上设有基板载具，所述基板载具上套设有工件，所述工件的上端上设有加工基板且加工基板与所述基板载具套设配合，所述水槽的后端设有机械手底座，所述机械手底座上设有机械手，所述机械手的输出端设有机械爪，所述机械爪的一侧设有热水喷淋头。本发明与现有技术相比的优点在于：提高脱蜡合格率、解决了划伤，崩边的问题。
本发明授权一种半导体材料脱蜡装置及其工艺在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料脱蜡装置，包括水槽（1），其特征在于，所述水槽（1）的两侧分别设有分别上料台（2）和下料台（3），所述上料台（2）上设有基板载具（4），所述基板载具（4）上套设有工件（5），所述工件（5）的上端上设有加工基板（6）且加工基板（6）与所述基板载具（4）套设配合，所述水槽（1）的后端设有机械手底座（7），所述机械手底座（7）上设有机械手（8），所述机械手（8）上设有机械爪（9），所述机械爪（9）上设有热水喷淋头（10）；所述基板载具（4）上安装有若干胶辊（18），若干所述胶辊（18）呈圆周分布，且若干所述胶辊（18）的上端面均为支撑斜面，所述基板载具（4）包括底板（19），所述底板（19）上设有支撑胶辊（18），所述支撑胶辊（18）上设有导杆（20），所述加工基板（6）的中部设有导套（21）且所述导套（21）套设在导杆（20）上。
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