恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司尹影获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种研磨液滴定装置、机构、系统及研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115488772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211228208.X，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权一种研磨液滴定装置、机构、系统及研磨方法是由尹影;庞浩;司马超;李婷;刘晓亮;边润立设计研发完成，并于2022-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨液滴定装置、机构、系统及研磨方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种研磨液滴定装置、机构、系统及研磨方法，研磨液滴定装置包括呈条形状的主体，其内部为空腔，主体顶部设有至少一个进液口，主体底部为开口并形成出液口，开口内侧壁为斜面，斜面呈内倾或外倾结构，沿主体长度的方向，其一端为固定端另一端为摆动端。对晶圆进行研磨时，开口内侧壁呈内倾或外倾结构的斜面可将研磨液均匀刮涂在研磨垫表面的沟槽中，避免受离心力作用向研磨垫边缘位置扩散，使研磨垫中心与边缘位置的研磨液分布均匀，减少了研磨垫中心与边缘的表面结构损耗产生差异，从而使研磨时的晶圆的研磨速率更加稳定，提高了产品的良品率，具有结构简单，操作便捷的优点。
本发明授权一种研磨液滴定装置、机构、系统及研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨液滴定装置，其特征在于，包括：主体1，所述主体1呈条形，其内部为空腔，所述主体1顶部设有至少一个进液口2，所述主体1底部为开口并形成出液口，所述开口内侧壁为斜面，所述斜面呈内倾或外倾结构，形成类似刮刀的形状，适于将研磨液挤压进入研磨垫12中，以实现将所述研磨液均匀分布，从而减少后续进程中待加工件上的波浪纹，沿所述主体1长度的方向，其一端为固定端另一端为摆动端；挡板3，所述挡板3设置在所述空腔内，所述挡板3距所述空腔两侧内壁距离不等，所述挡板3底面高于所述主体1底面。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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