恭喜拓荆科技股份有限公司谭华强获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利一种半导体喷淋板中的导流装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115852341B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211664236.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种半导体喷淋板中的导流装置是由谭华强;方成;尹艳超设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体喷淋板中的导流装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体喷淋板中的导流装置，喷淋板包括侧周密封连接的上盖板和喷淋面板，喷淋气体由上盖板中央的进气口通入后再由喷淋面板上的多个孔洞喷淋至待加工半导体表面，导流装置设于上盖板的进气口与喷淋面板之间，导流装置的主体为锥体，底部通过支撑装置安装于喷淋面板上，锥体的侧周面自上向下呈向外扩散状以将进入进气口的气体导流至喷淋面板的各处。
本发明授权一种半导体喷淋板中的导流装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体喷淋板中的导流装置，所述喷淋板包括侧周密封连接的上盖板和喷淋面板，喷淋气体由所述上盖板中央的进气口通入后再由所述喷淋面板上的多个孔洞喷淋至待加工半导体表面，所述导流装置设于所述上盖板的进气口与所述喷淋面板之间，所述导流装置的主体为锥体，其底部通过支撑装置安装于所述喷淋面板上，所述锥体包括自上向下的上段锥体与下段圆台，所述下段圆台的倾角大于所述上段锥体的倾角，所述倾角为所述上段锥体和所述下段圆台的侧面与所述喷淋板的中轴线之间的夹角，所述锥体的侧周面自上向下呈向外扩散状以将进入所述进气口的气体导流至所述喷淋面板的各处。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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