恭喜福建兆元光电有限公司马野获国家专利权
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龙图腾网恭喜福建兆元光电有限公司申请的专利一种修补石墨盘的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116535228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310315256.0,技术领域涉及:C04B37/00;该发明授权一种修补石墨盘的方法是由马野;宋水燕;陈灵燕;宋振雄;魏守进;刘恒山设计研发完成,并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种修补石墨盘的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及外延片生长设备技术领域,具体涉及一种修补石墨盘的方法。该修补石墨盘的方法,包括以下步骤:石墨盘的破损处清洁后进行挖孔处理得到柱形的孔洞,清洁孔洞并将氮化硅SiN材料切割成与孔洞形状相同的修补块,将修补块放入孔洞中并注入助烧剂,在1000~2000℃下烧结12~15h。该方法使用氮化硅修补块修补石墨盘,在不影响石墨盘性能的情况下极大地减少了成本,且与常规石墨修补对比,采用本发明的方法修补后的石墨盘耐久性更好,抗氧化温度更高。
本发明授权一种修补石墨盘的方法在权利要求书中公布了:1.一种修补石墨盘的方法,其特征在于,包括以下步骤:石墨盘的破损处清洁后进行挖孔处理得到柱形的孔洞,清洁孔洞并将氮化硅材料切割成与孔洞形状相同的修补块,将修补块放入孔洞中并采用质量比为1:1的纯硅粉末和氮化硅粉末注满修补块与孔洞之间的间隙,在1000~2000℃下烧结12~15h。
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