恭喜浙江大学付新获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利光刻设备检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116594265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310650752.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻设备检测系统及其检测方法是由付新;徐文苹;赵美慧;文科权;徐宁;陈文昱设计研发完成，并于2023-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻设备检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法，包括模拟末端投影物镜、气体供给系统和采样检测系统，模拟末端投影物镜具有朝向浸没控制单元的镜侧面和朝向衬底的镜底面，镜侧面中设有呈环形分布且朝向浸没控制单元的多个侧开口；模拟末端投影物镜内设有注气流道和采样流道，注气流道一端与气体供给系统相连通，气体供给系统向注气流道供给难溶于浸液中的气体，注气流道另一端与侧开口相连通；采样流道一端与采样检测系统相连通，采样流道另一端贯穿镜底面。利用难溶性气体将浸没流场自由界面与环境气体相分隔，避免环境因素干扰，从而准确地检测浸液的洁净度，以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
本发明授权光刻设备检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备检测系统，其特征在于：包括模拟末端投影物镜、气体供给系统和采样检测系统，模拟末端投影物镜具有朝向浸没控制单元的镜侧面和朝向衬底的镜底面，镜侧面中设有呈环形分布且朝向浸没控制单元的多个侧开口；模拟末端投影物镜内设有注气流道和采样流道，注气流道一端与气体供给系统相连通，气体供给系统向注气流道供给难溶于浸液中的气体，注气流道另一端与侧开口相连通；采样流道一端与采样检测系统相连通，采样流道另一端贯穿镜底面。
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