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龙图腾网恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利确定产生外延缺陷的部件的方法、装置及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117316798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311278396.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权确定产生外延缺陷的部件的方法、装置及介质是由梁鹏欢;王力;王雄;喻璠设计研发完成，并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本确定产生外延缺陷的部件的方法、装置及介质在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种确定产生外延缺陷的部件的方法、装置及介质。该方法包括：获取待测外延晶圆的缺陷的位置；其中，所述待测外延晶圆包括经清洗后仍存在缺陷的待测外延晶圆；检测所述待测外延晶圆的缺陷的形貌与成分；当确定所述待测外延晶圆的缺陷的位置为与外延生产设备的接触位置时，根据所述待测外延晶圆的缺陷的形貌与成分在所述外延生长设备的部件中确定产生所述待测外延晶圆的缺陷的部件。

本发明授权确定产生外延缺陷的部件的方法、装置及介质在权利要求书中公布了：1.一种确定产生外延缺陷的部件的方法，其特征在于，所述方法包括：获取待测外延晶圆的缺陷的位置；其中，所述待测外延晶圆包括经清洗后仍存在缺陷的待测外延晶圆；检测所述待测外延晶圆的缺陷的形貌与成分；当确定所述待测外延晶圆的缺陷的位置为与外延生产设备的接触位置时，根据所述待测外延晶圆的缺陷的形貌与成分在所述外延生长设备的部件中确定产生所述待测外延晶圆的缺陷的部件；其中，所述根据所述待测外延晶圆的缺陷的形貌与成分在所述外延生长设备的部件中确定产生所述待测外延晶圆的缺陷的部件，包括：若所述待测外延晶圆的缺陷的形貌表征所述待测外延晶圆的缺陷类型为划痕缺陷，则确定产生所述待测外延晶圆的缺陷的部件为用于在所述外延生产设备的各腔室之间传送晶圆的机械臂；若所述待测外延晶圆的缺陷的形貌表征所述待测外延晶圆的缺陷类型为堆垛层错缺陷，且堆垛层错缺陷中的杂质元素成分为氧元素，则确定产生所述待测外延晶圆的堆垛层错缺陷的部件为所述外延生产设备的传送腔；若所述待测外延晶圆的缺陷的形貌表征所述待测外延晶圆的缺陷类型为堆垛层错缺陷，且堆垛层错缺陷中的杂质元素成分为碳元素，则确定产生所述待测外延晶圆的堆垛层错缺陷的部件为所述外延生产设备中的支撑部件；若所述待测外延晶圆的缺陷的形貌表征所述待测外延晶圆的缺陷类型为堆垛层错缺陷，且堆垛层错缺陷中的杂质元素成分为硅元素和氯元素，则确定产生所述待测外延晶圆的堆垛层错缺陷的部件为所述外延生产设备中的处理腔室。

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