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龙图腾网恭喜广州粤升半导体设备有限公司申请的专利一种上下料装置及外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118629924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311399358.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种上下料装置及外延设备是由曾庆森;林逸;杨军伟;陈蛟设计研发完成，并于2023-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种上下料装置及外延设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种上下料装置及外延设备，其中，上下料装置包括主腔室、存储结构、取放片机构和升降机构；主腔室具有第一开口和第二开口；第一开口用于向主腔室内放置衬底或从主腔室内取出外延片；第二开口用于与传输腔连通；存储结构固定设置在主腔室内，并位于第一开口处，用以存放衬底和或外延片，存储结构具有沿其高度方向依次设置的多个存储位；升降机构设置在主腔室内，用以带动取放片机构在主腔室内上升或下降；取放片机构设置在主腔室内，用以与升降机构配合，将衬底从存储结构取出，并经第二开口运输至主腔室的外部，和将从传输腔运输过来的外延片，经第二开口运输至存储结构存储。本申请实施例的上下料装置自动化程度高。

本发明授权一种上下料装置及外延设备在权利要求书中公布了：1.一种上下料装置，其特征在于，用于对外延设备的传输腔（20）进行上下料，包括：主腔室（100）、存储结构（200）、取放片机构（300）和升降机构（400）；所述主腔室（100）具有设置在其侧壁上的第一开口（110）和设置在其顶壁上的第二开口（120）；所述第一开口（110）用于向所述主腔室（100）内放置衬底或从所述主腔室（100）内取出外延片；所述第二开口（120）用于与所述传输腔（20）连通；所述存储结构（200）固定设置在所述主腔室（100）内，并位于所述第一开口（110）处，用以存放所述衬底和或所述外延片，所述存储结构（200）具有沿其高度方向依次设置的多个存储位（201）；所述升降机构（400）设置在所述主腔室（100）内，用以带动所述取放片机构（300）在所述主腔室（100）内上升或下降；所述取放片机构（300）设置在所述主腔室（100）内，用以与所述升降机构（400）配合，将所述衬底从所述存储结构（200）取出，并经所述第二开口（120）运输至所述主腔室（100）的外部，和将从所述传输腔（20）运输过来的所述外延片，经所述第二开口（120）运输至所述存储结构（200）存储；所述取放片机构（300）包括：水平运输组件（310）、竖直运输组件（320）和固定组件（330）；所述水平运输组件（310）和所述竖直运输组件（320）分别与所述固定组件（330）固定连接，所述固定组件（330）与所述升降机构（400）连接；所述水平运输组件（310）包括水平电缸（311）和第一承载件（312）；所述第一承载件（312）与所述水平电缸（311）直接连接；所述水平电缸（311）带动所述第一承载件（312）沿水平方向运动；所述竖直运输组件（320）包括竖直电缸（321）和第二承载件（322）；所述第二承载件（322）与所述竖直电缸（321）连接；所述竖直电缸（321）带动所述第二承载件（322）沿竖直方向运动，以从所述第一承载件（312）上取走所述衬底，或向所述第一承载件（312）放置所述外延片；所述衬底生长外延层形成所述外延片。

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