恭喜杭州邦齐州科技有限公司张晓旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州邦齐州科技有限公司申请的专利一种周期性碗状结构模板的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118239445B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410198424.7，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种周期性碗状结构模板的制备方法是由张晓旭设计研发完成，并于2024-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种周期性碗状结构模板的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种周期性碗状结构模板的制备方法，包括以下几个步骤：在晶圆衬底上表面镀二氧化硅膜层；在二氧化硅膜层表面涂覆光刻胶，对光刻胶进行光刻，使得光刻胶上形成有周期性光刻胶图形；对失去光刻胶保护部分的二氧化硅膜层进行离子束刻蚀处理，使二氧化硅膜层被刻蚀的位置形成有碗状凹槽；去胶，得到周期性碗状结构模板。本制备方法操作简单快速，可获得大面积周期性良好、尺寸均一的碗状结构模板，能够大批量生产；制备过程中不需要使用带有腐蚀性的化学品，保障操作人员安全。
本发明授权一种周期性碗状结构模板的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种周期性碗状结构模板的制备方法，其特征在于，包括以下几个步骤：提供晶圆衬底，在所述晶圆衬底上表面镀二氧化硅膜层；在所述二氧化硅膜层上表面涂覆光刻胶，对光刻胶进行光刻，使得光刻胶上形成有周期性光刻胶图形；对失去光刻胶保护部分的二氧化硅膜层进行离子束刻蚀处理，使二氧化硅膜层被刻蚀的位置形成有碗状凹槽；完全去胶，得到周期性碗状结构模板；其中，所述离子束刻蚀的刻蚀条件为刻蚀角度为35°～65°，氩气流量为5～30sccm，腔内压强为7×10-4Pa～8×10-4Pa，刻蚀时间为5min～10min。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州邦齐州科技有限公司，其通讯地址为：311400 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢910室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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