恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司吴迪获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利晶圆装载机构及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222653927U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420355427.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆装载机构及半导体工艺设备是由吴迪;孙增强;田永安设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆装载机构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆装载机构及半导体工艺设备。晶圆装载机构包括承载组件以及传输组件；承载组件包括支撑件和设置于支撑件的锁定结构，传输组件用于装载晶圆承载盒至支撑件上；锁定结构用于锁紧于晶圆承载盒的底部，或者解除对晶圆承载盒底部的锁紧；传输组件具有避让锁定结构的避让空间，以使承载组件能够从晶圆承载盒的底部位置对晶圆承载盒进行锁紧，增强晶圆承载盒在装载、卸载过程中的稳定性和兼容性，避免对晶圆承载盒底座造成损伤。
本实用新型晶圆装载机构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载机构，其特征在于，包括承载组件以及传输组件；所述承载组件包括支撑件和设置于所述支撑件的锁定结构，所述传输组件用于装载晶圆承载盒至所述支撑件上；所述锁定结构用于锁紧于所述晶圆承载盒的底部，或者解除对所述晶圆承载盒底部的锁紧；所述传输组件具有避让所述锁定结构的避让空间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京七星华创集成电路装备有限公司，其通讯地址为：101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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