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恭喜昆山晟成光电科技有限公司王凡获国家专利权

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龙图腾网恭喜昆山晟成光电科技有限公司申请的专利一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222648097U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420386156.7,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置是由王凡;胡宇航;李伟;杨星;周文彬设计研发完成,并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,涉及一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置,包括真空壳体、旋转机构和样品载具,所述旋转机构包括依次连接的旋转伺服部件、磁流体、旋转轴和托架,所述真空壳体的一端设有入口法兰,所述磁流体沿水平方向穿过所述真空壳体的另一端,所述旋转伺服部件固定连接于所述真空壳体外并驱动所述托架在所述真空壳体内绕水平轴旋转,所述样品载具用来固定蒸镀样件,所述托架的两侧设有用来吸住所述样品载具边缘的电磁铁。本装置能够在真空壳体的内部完成蒸镀样件的翻面,避免了重复抽真空的过程,降低了能耗,提升了蒸镀质量和蒸镀效率。电磁铁的吸力作用于样品载具上,不损伤蒸镀样件的表面,保证了镀膜的质量。

本实用新型一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置在权利要求书中公布了:1.一种用于蒸镀设备双面镀膜的翻转装置,其特征在于:包括真空壳体、旋转机构和样品载具,所述旋转机构包括依次连接的旋转伺服部件、磁流体、旋转轴和托架,所述真空壳体的一端设有入口法兰,所述磁流体沿水平方向穿过所述真空壳体的另一端,所述旋转伺服部件固定连接于所述真空壳体外并驱动所述托架在所述真空壳体内绕水平轴旋转,所述样品载具用来固定蒸镀样件,所述托架的两侧设有用来吸住所述样品载具边缘的电磁铁。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆山晟成光电科技有限公司,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路1601号C2栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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