恭喜浙江莱宝科技有限公司申屠江民获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江莱宝科技有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222648090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420446590.X,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种真空镀膜设备是由申屠江民;祝宇;王学安设计研发完成,并于2024-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及镀膜技术领域,公开了一种真空镀膜设备,包括真空箱体,真空箱体内包括可依次连通真空溅射室、第一冷却室和第二冷却室,其中,第一冷却室的中部设置有中心加热器,第一冷却室的侧边设置有侧部加热器,中心加热器和侧部加热器的温度可调,真空溅射室包括有被镀件移动部、第一靶材和第二靶材,被镀件移动部可以在真空溅射室、第一冷却室和第二冷却室之间移动,中心加热器和侧部加热器对应被镀件移动部在真空溅射室和第一冷却室内中的位置设置,通过在第一冷却室中对应被镀件移动部设置可以调节温度的中心加热器和侧部加热器,从而使得被镀件的真空退火温度的可控调节,减少了被镀件的边缘出现发黑以及电阻变高的现象。
本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜设备,其特征在于,包括真空箱体,所述真空箱体内包括真空溅射室、第一冷却室和第二冷却室,所述真空溅射室的一端与所述第一冷却室的一端连通,所述第一冷却室的另一端与所述第二冷却室连通,其中,所述第一冷却室的中部设置有中心加热器,所述第一冷却室的侧边设置有侧部加热器,所述中心加热器和所述侧部加热器温度可调,所述真空溅射室包括有被镀件移动部、第一靶材和第二靶材,所述被镀件移动部可以在所述真空溅射室、所述第一冷却室和所述第二冷却室之间移动,所述中心加热器和所述侧部加热器对应所述被镀件移动部在所述真空溅射室和所述第一冷却室内中的位置设置。
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