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龙图腾网恭喜昆山科迪特精密工业有限公司申请的专利一种分区承载式晶圆自动加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119092439B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411218176.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种分区承载式晶圆自动加热装置是由李伟伟设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种分区承载式晶圆自动加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加热技术领域，具体为一种分区承载式晶圆自动加热装置，包括机架，所述机架顶部的左右侧均固定设置有输送架，且机架的顶部通过支撑柱固定设置有固定架，所述固定架底部设置有移料组件，且固定架底部的中部还设置有加热组件，所述机架的内部从左至右依次设置有预处理框、加热框和冷却框。本发明通过左侧的输送架对晶圆进行自动送料，配合移料组件对晶圆在预处理框的内部完成清洗和烘干处理，接着在加热框的内部完成上下表面的加热处理，最后在冷却框的内部完成对晶圆的冷却处理，通过右侧的输送架将晶圆进行送出，实现对晶圆的自动上料、清洗、烘干、加热、冷却以及出料操作，在很大程度上提高了对晶圆的加工处理效率。

本发明授权一种分区承载式晶圆自动加热装置在权利要求书中公布了：1.一种分区承载式晶圆自动加热装置，包括机架（1），所述机架（1）顶部的左右侧均固定设置有输送架（2），且机架（1）的顶部通过支撑柱固定设置有固定架（3），其特征在于：所述固定架（3）底部设置有移料组件，且固定架（3）底部的中部还设置有加热组件，所述机架（1）的内部从左至右依次设置有预处理框（4）、加热框（5）和冷却框（6）；所述加热组件包括封闭架二（15）和加热架一（16），所述固定架（3）顶部的中部固定设置有伺服电缸四（17），且固定架（3）底部的中部活动设置有封闭架二（15），所述伺服电缸四（17）的驱动端与封闭架二（15）的顶部固定连接，所述封闭架二（15）的内部固定设置有微型电缸（18），且封闭架二（15）的底部活动设置有加热架一（16），所述微型电缸（18）的驱动端与加热架一（16）的顶部固定连接；所述加热框（5）内部的底部固定设置有加热架二（19），且加热架一（16）的底部和加热架二（19）的顶部均通过若干个加热单元和温度检测器组成，所述加热框（5）内壁的四周均固定设置有伺服电缸七（35），且四个伺服电缸七（35）的驱动端均固定设置有定位块（34）；通过伺服电缸四（17）的驱动端控制封闭架二（15）向下移动，利用封闭架二（15）对加热框（5）的顶部进行封闭，接着通过微型电缸（18）的驱动端控制加热架一（16）向下移动，直至加热架一（16）的底部与晶圆的顶部接触，通过加热架一（16）的底部和加热架二（19）的顶部对晶圆的上下表面进行加热处理。

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