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龙图腾网恭喜青岛天仁微纳科技有限责任公司申请的专利一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118838132B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411310626.2，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法是由冀然;张玉良;董滢;郭培亮设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法，属于图像处理技术领域，包括以下步骤：S1、获取模具的参考数据和基底的压印实时数据，并对基底的压印实时数据进行预处理，得到基底的压印数据；S2、计算模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度；S3、根据模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度，确定压印的对准结果。本发明可以对压印结果实现精准评估，减少由于压印未对准造成的成品损失，提高压印效率。

本发明授权一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法在权利要求书中公布了：1.一种纳米压印过程中模具与基底对准监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、获取模具的参考数据和基底的压印实时数据，并对基底的压印实时数据进行预处理，得到基底的压印数据；S2、计算模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度；S3、根据模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度，确定压印的对准结果；所述S2包括以下子步骤：S21、将模具的参考数据中第一个像素点作为初始追逐点，将基底的压印数据中对应位置的像素点作为初始跟随点；S22、计算初始追逐点与初始跟随点之间的初始损失适应度；S23、将初始追逐点包含的像素点数量加1，作为当前追逐点，将初始跟随点包含的像素点数量加1，作为当前跟随点，计算当前追逐点和当前跟随点之间的当前损失适应度；S24、重复步骤S23，直至模具的参考数据中所有像素点都加入当前追逐点且基底的压印数据中所有像素点都加入当前跟随点，得到若干个当前损失适应度；S25、根据若干个当前损失适应度，计算模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度；所述S22中，初始追逐点与初始跟随点之间的初始损失适应度s0的计算公式为：；式中，a1表示初始追逐点对应像素点的像素值，b1表示初始跟随点对应像素点的像素值，log2·表示以2为底数的对数函数；所述S23中，当前追逐点和当前跟随点之间的当前损失适应度S的计算公式为：；式中，M表示当前追逐点包含的像素点总数，N表示当前跟随点包含的像素点总数，A1表示当前追逐点包含的第1个像素点的像素值，B1表示当前跟随点包含的第1个像素点的像素值，Am表示当前追逐点包含的第m个像素点的像素值，Bn表示当前跟随点包含的第n个像素点的像素值，AM表示当前追逐点包含的第M个像素点的像素值，BN表示当前跟随点包含的第N个像素点的像素值，exp·表示指数函数，s0表示初始追逐点与初始跟随点之间的初始损失适应度，max·表示最大值函数；所述S25包括以下子步骤：S251、根据所有当前损失适应度，确定模具的标记像素点和基底的标记像素点；S252、根据模具的标记像素点和基底的标记像素点，确定标记像素权重；S253、根据标记像素权重以及所有当前损失适应度，计算模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度；所述S251包括以下子步骤：S2511、将所有当前损失适应度按照生成顺序排序；S2512、计算下一个当前损失适应度与上一个当前损失适应度之间的比值，将最大比值对应的上一个当前损失适应度作为第一损失适应度，将最大比值对应的下一个当前损失适应度作为第二损失适应度；S2513、提取第一损失适应度对应的当前追逐点和当前跟随点；S2514、提取第二损失适应度对应的当前追逐点和当前跟随点；S2515、将第二损失适应度对应的当前追逐点包含的像素点与第一损失适应度对应的当前追逐点包含的像素点之间的差集作为模具的标记像素点；S2515、将第二损失适应度对应的当前跟随点与第一损失适应度对应的当前跟随点之间的差集作为基底的标记像素点；所述S252中，标记像素权重η的计算公式为：；式中，表示模具的标记像素点的像素值，表示基底的标记像素点的像素值，表示向上取整；所述S253中，模具的参考数据与基底的压印数据之间的对准强度Q的计算公式为：；式中，η表示标记像素权重，β表示所有当前损失适应度的方差，s0表示初始追逐点与初始跟随点之间的初始损失适应度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛天仁微纳科技有限责任公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。