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龙图腾网恭喜杭州电子科技大学申请的专利锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118883815B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411346211.0，技术领域涉及：G01N31/10；该发明授权锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法是由闫文君;陈宇龙设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法。所述传感器，从下到上依次包括氧化硅支撑层、加热电极和传感电极、氮化硅隔离层和非贵金属中熵合金气敏薄膜。所述非贵金属为Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种。所述传感器的制备方法包括将非贵金属充分球磨、混合，形成中熵合金粉末，加热后得到气敏功能粉末。向气敏功能粉末加入玻璃粉、乙基纤维素、乙二醇，充分混合均匀后得到气敏浆料，将气敏浆料点涂在MEMS芯片的悬浮膜表面，加热后形成稳定的气敏薄膜，即得到于锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器。该传感器不含贵金属，可以降低制备成本。

本发明授权锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器，从下到上依次包括氧化硅支撑层、加热电极和传感电极和氮化硅隔离层，其特征在于：还包括位于氮化硅隔离层表面的非贵金属中熵合金气敏薄膜；所述非贵金属为Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种；该传感器以半导体化学敏感和催化燃烧双模式气敏功能实现对锂电池热失控释放的可燃性气体检测，所述可燃性气体包括氢气、一氧化碳、甲烷和丙烷；所述锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器的制备方法为：步骤1、选择Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种金属粉末按质量比1：1：1混合，加入氧化锆球磨珠和无水乙醇后研磨；将研磨得到的溶液抽滤干燥，分离氧化锆球磨珠，得到中熵合金粉末，再进行热处理，得到气敏功能粉末；步骤2、将步骤1得到的气敏功能粉末，与玻璃粉、乙基纤维素、乙二醇混合，加入氧化锆球磨珠后研磨，筛除氧化锆球磨珠后，得到气敏浆料；步骤3、采用集成微热板的MEMS芯片作为传感器电极芯片，通过气动点胶机将气敏浆料点涂到MEMS芯片的悬浮膜表面；步骤4、点胶完成后，通过MEMS芯片集成的微热板对器件进行加热老化，从而在芯片表面形成稳定的气敏性中熵合金薄膜，得到所述锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器；所述加热老化采用阶梯温度模式，微热板温度依次控制在100、200、300、400、500℃，每个温度下加热30~120min。

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