恭喜芯联集成电路制造股份有限公司胡钰祺获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利沟槽栅IGBT结构及半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119133225B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411579943.4,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权沟槽栅IGBT结构及半导体器件是由胡钰祺设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本沟槽栅IGBT结构及半导体器件在说明书摘要公布了:本发明提供了一种沟槽栅IGBT结构及半导体器件,所述沟槽栅IGBT结构包括:第一沟槽栅极,自所述衬底表面延伸至所述N‑漂移区中;第一P型掺杂区,与所述P型基区及各自设于所述第一沟槽栅极一侧的N‑漂移区中,所述第一P型掺杂区中设有插塞用于接地;第二沟槽栅极,设于所述第一P型掺杂区中,与所述第一沟槽栅极电连接,且所述第二沟槽栅极的长度小于所述第一沟槽栅极的长度;N型浮空埋层,设于所述第二沟槽栅极下方的第一P型掺杂区中,所述N型浮空埋层的一端与所述第一沟槽栅极间隔设置。本发明可同时优化沟槽栅IGBT结构的导通压降及关断损耗。
本发明授权沟槽栅IGBT结构及半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种沟槽栅IGBT结构,其特征在于,包括衬底及设于所述衬底中且由下至上依次设置的P+集电极区、N-漂移区、P型基区及N+发射区,所述沟槽栅IGBT结构还包括:第一沟槽栅极,自所述衬底表面延伸至所述N-漂移区中;第一P型掺杂区,所述第一P型掺杂区与所述P型基区各自设于所述第一沟槽栅极一侧的N-漂移区中,所述第一P型掺杂区中设有插塞用于接地;第二沟槽栅极,设于所述第一P型掺杂区中,与所述第一沟槽栅极电连接,且所述第二沟槽栅极的长度小于所述第一沟槽栅极的长度;N型浮空埋层,设于所述第二沟槽栅极下方的第一P型掺杂区中,所述N型浮空埋层的一端与所述第一沟槽栅极间隔设置;其中,所述第一P型掺杂区、所述第二沟槽栅极及所述N型浮空埋层构成P沟道耗尽型晶体管结构,所述N型浮空埋层与所述第一沟槽栅极之间的第一P型掺杂区作为所述P沟道耗尽型晶体管结构的沟道区。
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