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龙图腾网恭喜厦门银科启瑞半导体科技有限公司申请的专利一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119133322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411599706.4，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置是由褚克成;张银桥;王玉;叶伟民;王周阳;陈星宇;陈晓铃设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置，在光刻工艺中只涂敷一层光刻胶，无需二次曝光，通过调整光刻胶层的厚度、曝光强度和显影时间即可实现预期的倒梯形图形界面，然后蒸镀上厚度小于光刻胶层的金属电极，达到所需金属电极和光刻胶层，以及所需金属电极和所要剥离的金属之间互不粘连的目的；接着采用带辊轮的金属电极剥离装置，可以让晶圆旋转，使光刻胶层和光刻胶剥离液充分反应，带动光刻胶上的金属均匀地完全脱离，无需额外人工操作进行剥离，降低了生产成本，提高了生产效率。

本发明授权一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池的金属电极剥离方法，其特征在于，包括：提供衬底晶圆，在衬底晶圆上生长外延层形成半成品芯片；在半成品芯片的外延层表面旋涂一层负性光刻胶形成光刻胶层，然后经烘烤、曝光、显影、坚膜后烘，使光刻胶层形成倒梯形的图形界面；在具有图形界面的外延层表面蒸镀金属电极，金属电极的厚度小于光刻胶层的厚度，使所需金属电极和光刻胶层，以及所需金属电极和所要剥离的金属之间互不粘连；准备一金属电极剥离装置，所述金属电极剥离装置包括缸体、辊轮平台、辊轮，所述缸体内盛有光刻胶剥离液，所述辊轮平台置于缸体内，所述辊轮转动设置在辊轮平台上，所述辊轮平台在辊轮的外周设有花篮卡槽；取多片蒸镀有金属电极的晶圆平边朝上放入花篮中，将花篮卡入花篮卡槽，使晶圆的侧壁与辊轮抵接，且花篮浸泡于光刻胶剥离液中，花篮浸泡于光刻胶剥离液中的时间为15min，将晶圆近平边区域的金属电极脱落，然后转动辊轮，辊轮带动晶圆缓慢旋转，直至晶圆的平边朝下，然后再浸泡15min，将晶圆远平边区域的金属电极脱离；将剥离过金属电极的晶圆进行清洗并进行后续制程，完成太阳能电池芯片的制作。

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