恭喜深圳市升达康科技有限公司韩飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市升达康科技有限公司申请的专利半导体载板的封闭式转运设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119275152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411766597.0,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权半导体载板的封闭式转运设备是由韩飞;王啸;刘军;魏明豪设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体载板的封闭式转运设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体载板的封闭式转运设备,涉及半导体转运设备技术领域,其中,半导体载板的封闭式转运设备包括:第一箱体,内设有隔断层将第一箱体的内部左右分隔为第一腔体和第二腔体,第一腔体中设置有送料位,第二腔体中设置有出料口,隔断层上设置有第一阻隔门,第一腔体中设置有第二阻隔门;运输机构,用于运输载板,能够通过第二阻隔门进入第一腔体,并位于送料位;转运机构,设于第二腔体,能够通过第一阻隔门进入第一腔体,将运输机构中的载板取出,并转运至第二腔体;以及传输机构,用于承接转运机构中的载板,并将载板通过出料口输送至密封式运输线。本发明提供的技术方案能够解决半导体载板转运时防尘效果不好的问题。
本发明授权半导体载板的封闭式转运设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体载板的封闭式转运设备,其特征在于,设于密封式运输线的上游,其中密封式运输线具有接料口,所述半导体载板的封闭式转运设备包括:第一箱体,内设有隔断层将第一箱体的内部左右分隔为第一腔体和第二腔体,所述第一腔体中设置有送料位,所述第二腔体中设置有出料口,所述隔断层上设置有第一阻隔门,所述第一腔体中设置有第二阻隔门;封闭式的运输机构,用于运输载板,能够通过第二阻隔门进入所述第一腔体,并位于送料位,所述运输机构位于所述送料位时,所述第二阻隔门处于关闭状态;转运机构,设于所述第二腔体,能够通过第一阻隔门进入所述第一腔体,将所述运输机构中的载板取出,并转运至所述第二腔体;以及传输机构,设于第二腔体,用于承接所述转运机构中的载板,并将所述载板通过所述出料口输送至所述密封式运输线;所述传输机构包括第一安装架、安装于所述第一安装架的输送轮、以及驱动所述输送轮转动的第一驱动电机,所述第一安装架具有第一底座,所述第一底座固设于所述第二腔体的腔底部;所述转运机构包括多轴机械臂、设于多轴机械臂的取料吸盘,所述多轴机械臂具有第二底座,所述第二底座固设于所述第二腔体的腔底部,所述多轴机械臂能够带动所述取料吸盘通过第一阻隔门进入所述第一腔体,所述取料吸盘能够吸附载板;所述第一箱体底部安装有具有自锁功能的万向轮,所述万向轮使所述第一箱体的底部与地面之间具有间隙,所述第一腔体的底部为开口,所述第一腔体还设置有进出口,所述进出口位于所述第二阻隔门下方;所述运输机构包括第二箱体、设于所述第二箱体的箱门、驱动所述第二箱体移动的AGV小车,所述第二箱体中设置有置物架,所述置物架上设置有多层存放层,所述存放层用于供载板放置,所述AGV小车能够带动所述第二箱体通过所述第二阻隔门进出所述第一腔体。
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