恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司卢明获国家专利权
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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637222U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520210442.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备是由卢明;李博睿;倪图强设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备。阻抗匹配器包括阻抗匹配网络和控制单元，至少一台所述阻抗匹配器经由射频链路电连接于射频源与负载端之间，所述阻抗匹配网络与控制单元之间、射频源与控制单元之间、负载端与控制单元之间通过高速通信总线电连接，所述阻抗匹配网络、控制单元、射频源和负载端设置有工业以太网控制自动化技术端口和或吉比特收发接口，以使所述高速通信总线进行高速信号传输，使延迟显著降低。
本实用新型一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配器，其特征在于，包括阻抗匹配网络和控制单元，至少一台所述阻抗匹配器经由射频链路电连接于射频源与负载端之间，所述阻抗匹配网络与所述控制单元之间、所述射频源与所述控制单元之间、所述负载端与所述控制单元之间通过高速通信总线电连接，所述阻抗匹配网络、控制单元、射频源和负载端设置有工业以太网控制自动化技术端口和或吉比特收发器接口，以使所述高速通信总线进行高速信号传输。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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