恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司张孟伦获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利附加结构与顶电极分离的体声波谐振器、滤波器及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111010111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910466991.5,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权附加结构与顶电极分离的体声波谐振器、滤波器及电子设备是由张孟伦;庞慰;杨清瑞设计研发完成,并于2019-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本附加结构与顶电极分离的体声波谐振器、滤波器及电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,设置在基底上方;顶电极,具有电极连接部;和压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,其中:所述谐振器还包括附加结构,所述附加结构设置在顶电极的边缘且顶电极与附加结构之间具有间隙;所述谐振器还包括不导电材料层,所述不导电材料层填充所述间隙且覆盖所述附加结构的至少一部分和或所述顶电极的至少一部分。本发明还涉及一种具有上述半导体器件的电子设备。
本发明授权附加结构与顶电极分离的体声波谐振器、滤波器及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,设置在基底上方;顶电极,具有电极连接部;和压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,其中:所述谐振器还包括附加结构,所述附加结构设置在顶电极的边缘且顶电极与附加结构之间具有间隙;所述谐振器还包括不导电材料层,所述不导电材料层填充所述间隙且覆盖所述附加结构的至少一部分和或所述顶电极的至少一部分;所述附加结构为凸起结构与凹陷结构的组合,其中附加结构的凹陷结构在附加结构的凸起结构的内侧。
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