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恭喜华海清科股份有限公司许振杰获国家专利权

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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种修整头获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110977772B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910576078.0,技术领域涉及:B24B53/02;该发明授权一种修整头是由许振杰;王春龙设计研发完成,并于2019-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种修整头在说明书摘要公布了:本发明公开了一种修整头,包括修整组件和用于承载修整组件的基座组件,所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫;并且,所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。本申请提供的修整头用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化,其结构合理,内部设置传感器实时监测修整组件相对于基座组件的竖直位置,实时获取修整组件底面距离抛光垫的距离,以保证良好的修整效果。

本发明授权一种修整头在权利要求书中公布了:1.一种修整头,其特征在于,包括:修整组件、传动带轮和用于承载修整组件的基座组件,所述修整组件可相对于所述基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫;并且,所述修整头中设置有传感器以监测所述修整组件相对于所述基座组件的竖直位置;所述基座组件包括基座、上旋转套及下旋转套,所述上旋转套与下旋转套连接为一体并同心设置于基座内,所述传感器设置在上旋转套与下旋转套之间的竖向空间内;所述基座组件还包括同心套设于所述连接轴外侧的承载盘,所述承载盘与所述基座卡接,所述承载盘的中部设置有承载盘通孔,所述下旋转套穿过所述承载盘通孔,以使所述承载盘与所述上旋转套及所述下旋转套形成的组件分离,所述承载盘上具有至少两个用于设置所述传感器的凹槽;所述修整组件包括可沿所述基座组件上下滑动的连接轴,所述连接轴的上部具有定位环,所述传动带轮与所述上旋转套连接,所述修整组件与所述下旋转套连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司,其通讯地址为:300350 天津市津南区咸水沽镇海河科技园区聚兴道9号,8号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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