恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利体声波滤波器及其制造方法以及双工器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111010143B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911139018.9,技术领域涉及:H03H9/70;该发明授权体声波滤波器及其制造方法以及双工器是由庞慰;郑云卓设计研发完成,并于2019-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本体声波滤波器及其制造方法以及双工器在说明书摘要公布了:本发明涉及通信用滤波器件技术领域,特别地涉及一种体声波滤波器及其制造方法以及双工器,该制造方法,包括:在上晶圆的第一表面形成多个并联谐振器;在下晶圆的第一表面形成多个串联谐振器;在并联谐振器的电路上连接第一管脚,串联谐振器的电路上连接第二管脚,将上晶圆的第一表面和下晶圆的第一表面平行相对设置,以及使第一管脚和第二管脚键合形成多级串并联的滤波器电路,并且形成分布式电容;形成该分布式电容的并联谐振器和串联谐振器在多级串并联的滤波器电路中为同级关系、相邻级关系或相跨一级关系。本发明技术的技术方案,在不损失滤波器性能的情况下,通过改变滤波器的结构缩小了其体积。
本发明授权体声波滤波器及其制造方法以及双工器在权利要求书中公布了:1.一种体声波滤波器的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:在上晶圆的第一表面形成多个并联谐振器;在下晶圆的第一表面形成多个串联谐振器;在所述并联谐振器的电路上连接第一管脚,所述串联谐振器的电路上连接第二管脚,将所述上晶圆的第一表面和所述下晶圆的第一表面平行相对设置,以及使所述第一管脚和所述第二管脚键合形成多级串并联的滤波器电路,并且对所述并联谐振器和串联谐振器的位置进行布置,使形成分布式电容的并联谐振器和串联谐振器在所述多级串并联的滤波器电路中为同级关系、相邻级关系或相跨一级关系。
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