恭喜株式会社EGTM李根守获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社EGTM申请的专利利用表面保护物质的薄膜形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114729450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080079543.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权利用表面保护物质的薄膜形成方法是由李根守;金才玟;金荷娜;崔雄辰设计研发完成，并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用表面保护物质的薄膜形成方法在说明书摘要公布了：根据本发明的一实施例，利用表面保护物质的薄膜形成方法，包括：表面保护层形成步骤，向放置基板的腔体内部供给表面保护物质，以在上述基板表面形成表面保护层；对上述腔体内部进行一次净化的步骤；金属前驱体供给步骤，向所述腔体内部供给金属前驱体；对上述腔体内部进行二次净化的步骤；及薄膜形成步骤，向上述腔体内部供给反应物质以与所述金属前驱体反应形成薄膜。
本发明授权利用表面保护物质的薄膜形成方法在权利要求书中公布了：1.一种利用表面保护物质的薄膜形成方法，所述表面保护物质具有多个醚基，其特征在于，包括：金属前驱体供给步骤，向放置基板的腔体内部供给金属前驱体，将所述金属前驱体吸附于基板；净化所述腔体内部的步骤；及薄膜形成步骤，向所述腔体内部供给反应物质以与被吸附的所述金属前驱体反应并形成薄膜；该方法在所述薄膜形成步骤之前还包括：表面保护物质供给步骤，向所述腔体内供给所述表面保护物质以使所述表面保护物质吸附到上述基板上；以及净化所述腔体内部的步骤，所述表面保护物质用下述化学式3表示：化学式3 在上述化学式3，n1、n2为0～5的整数，m1为1～5的整数，R从包括碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的环烷基、碳原子数6～12的芳基的多个醚基中选择。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社EGTM，其通讯地址为：韩国京畿道水原市灵通区新院路304,3-303(远泉洞,灵通伊诺普莱克斯)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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