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龙图腾网恭喜上海果纳半导体技术有限公司申请的专利晶圆缺陷检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112466787B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011339073.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆缺陷检测设备是由叶莹设计研发完成，并于2020-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：一种晶圆缺陷检测设备，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆；浸润液体提供模块，用于提供浸润液体，以将晶圆载台上的待检测晶圆浸没在浸润液体中，所述浸润液体的折射率大于空气的折射率；图像获取模块，所述图像获取模块包括摄像头阵列，所述图像获取模块通过摄像头阵列一次拍摄获得待检测晶圆整个表面对应的检测图像，且进行拍摄时所述摄像头阵列至少有部分浸没在浸润液体中；缺陷判断模块，所述缺陷判断模块根据所述图像获取模块获得的检测图像，判断所述待检测晶圆的表面是否存在缺陷。本发明的晶圆缺陷检测设备提高了缺陷检测精度。

本发明授权晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆；浸润液体提供模块，用于提供浸润液体，以将晶圆载台上的待检测晶圆浸没在浸润液体中，所述浸润液体的折射率大于空气的折射率；图像获取模块，所述图像获取模块包括摄像头阵列，所述图像获取模块通过摄像头阵列一次拍摄获得待检测晶圆整个表面对应的检测图像，且进行拍摄时所述摄像头阵列至少有部分浸没在浸润液体中，使得待检测晶圆表面反射的光通过浸润液体传输直接进入摄像头阵列的进行感应，所述图像获取模块还包括一平面基板，若干摄像头呈阵列方式排布在所述平面基板上，所述平面基板开设若干穿孔，所述穿孔的开设位置与所述摄像头不交叠，所述平面基板为PCB基板，所述PCB基板上具有若干连接线路，相应的线路与对应的所述摄像头连接；照明装置，所述照明装置包括光源和光纤传输单元，所述光源用于发出特定波长的照射光，所述光纤传输单元用于将光源发出的特定波长的照射光传输至待检测晶圆的表面进行照明，所述光纤传输单元包括若干光纤传输通道，每一个所述光纤传输通道与所述平面基板上的一个穿孔对应，每一个所述光纤传输通道输出的照射光对所述待检测晶圆表面一部分面积进行照明，通过若干所述光纤传输通道对所述待检测晶圆的整个表面进行照明，提高对所述待检测晶圆的表面进行照明时照射光的能量和亮度分布的均匀性，且所述照明装置的下端浸没在所述浸润液体中；缺陷判断模块，所述缺陷判断模块根据所述图像获取模块获得的检测图像，判断所述待检测晶圆的表面是否存在缺陷。

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