恭喜先进科技新加坡有限公司容忠尚获国家专利权
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龙图腾网恭喜先进科技新加坡有限公司申请的专利具有芯片固持器运动台的芯片键合头设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112992704B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011429319.8,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权具有芯片固持器运动台的芯片键合头设备是由容忠尚;梁栢健设计研发完成,并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有芯片固持器运动台的芯片键合头设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种芯片键合头设备,其具有联接于芯片键合头运动台的芯片键合头主体、安装在所述芯片键合头主体上的芯片固持器运动台以及使用时能操作以将半导体芯片固定于衬底的芯片固持器。所述芯片固持器能够通过独立于所述芯片键合头运动台的所述芯片固持器运动台定位。
本发明授权具有芯片固持器运动台的芯片键合头设备在权利要求书中公布了:1.一种芯片键合头设备,包括:芯片键合头主体,其联接于芯片键合头运动台以沿着至少一个轴线移动所述芯片键合头主体;芯片固持器运动台,其安装在所述芯片键合头主体上;芯片固持器,其在使用时能操作以将半导体芯片固定于衬底,所述芯片固持器能够通过所述芯片固持器运动台定位以独立于所述芯片键合头运动台沿着所述至少一个轴线移动所述芯片固持器;以及成像装置,其位于所述衬底上,在使用时可操作以对衬底上的安置位置进行成像,所述成像装置被配置为使得所述芯片固持器运动台可移动到所述成像装置和所述衬底之间的位置以使所述芯片固持器运动台定位于所述成像装置和所述芯片固持器之间,其中所述成像装置还可操作以对所述芯片固持器和或由所述芯片固持器所固持的半导体芯片的至少一部分进行成像,以在所述芯片键合头主体通过所述芯片键合头运动台沿着所述至少一个轴线定位在所述安置位置附近之后确定所述芯片固持器和/或所述半导体芯片的位置和定向信息中的至少一个,其中所述芯片固持器运动台还可操作以调节所述芯片固持器和或所述半导体芯片相对于所述安置位置的位置和定向,其中所述芯片固持器运动台包括至少一个孔口,至少一个检查光路透过该孔口穿过所述芯片固持器运动台,以允许成像装置对所述芯片固持器和或由所述芯片固持器固持的所述半导体芯片的至少一部分进行成像。
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