恭喜应用材料公司穆罕纳德·穆斯塔法获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于原子层沉积前驱物输送的喷头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981475B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080093407.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于原子层沉积前驱物输送的喷头是由穆罕纳德·穆斯塔法;穆罕纳德·拉希德设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于原子层沉积前驱物输送的喷头在说明书摘要公布了：本文提供在处理腔室中使用的喷头的多个实施方式。在一些实施方式中，一种喷头，包括第一螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域；第二螺旋通道，从喷头的中心区域延伸至周围区域，其中第二螺旋通道与第一螺旋通道交错且与第一螺旋通道流体独立；多个第一通道，从第一螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第一气体分配孔，其中每个第一通道是以一个角度延伸的单一通道；和多个第二通道，从第二螺旋通道延伸至在喷头的下部表面上的多个第二气体分配孔，其中每个第二通道是以一个角度延伸的单一通道。
本发明授权用于原子层沉积前驱物输送的喷头在权利要求书中公布了：1.一种在处理腔室中使用的喷头，包含：第一螺旋通道，从所述喷头的中心区域延伸至所述喷头的周围区域；第二螺旋通道，从所述喷头的所述中心区域延伸至所述喷头的所述周围区域，其中所述第二螺旋通道与所述第一螺旋通道交错且与所述第一螺旋通道流体独立；多个第一通道，从所述第一螺旋通道延伸至在所述喷头的下部表面上的多个第一气体分配孔，其中各个第一通道是相对于垂直于所述喷头的所述下部表面的轴以第一角度延伸的单一通道；和多个第二通道，从所述第二螺旋通道延伸至在所述喷头的所述下部表面上的多个第二气体分配孔，其中各个第二通道是相对于垂直于所述喷头的所述下部表面的所述轴以第二角度延伸的单一通道，其中所述多个第一气体分配孔和所述多个第二气体分配孔在所述喷头的所述下部表面沿着螺旋图案以交替方式汇聚。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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