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龙图腾网恭喜河南科技学院申请的专利一种化学机械抛光检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112743445B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110141359.0，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种化学机械抛光检测装置及其检测方法是由逄明华;王占奎;苏建修;翟帅杰;马利杰;李勇峰;胡楠;杜留锋;赵红远;张亚奇;吴婷婷设计研发完成，并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种化学机械抛光检测装置及其检测方法，涉及化学机械抛光技术领域，包括对透明的工件进行夹持的工件夹持部、用于带动抛光垫转动的驱动部及其用于对抛光垫的表面形貌进行图像采集的图像采集部，工件加持部上设置有压力传感器，压力传感器用于测量工件在抛光压力作用下由于法向位移而产生的法向压力；本发明利用图像采集装置实时捕捉抛光界面间抛光垫的表面形貌，结合对抛光界面受力情况的监测，能够分析得到抛光垫表面摩擦系数变化情况，及其摩擦系数变化与研磨颗粒分布变化、磨损变化等参数之间的关系，解决了无法将抛光界面磨粒分布、抛光垫形貌与界面摩擦特性进行关联的技术问题。

本发明授权一种化学机械抛光检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光检测装置，其特征在于，包括对透明的工件进行夹持的工件夹持部，所述工件夹持部上设置有压力传感器，所述压力传感器用于测量所述工件在抛光压力作用下由于法向位移而产生的法向压力；所述工件夹持部上还设置有拍摄区域；还包括用于带动抛光垫转动的驱动部；还包括用于对抛光垫的表面形貌进行图像采集的图像采集部，所述图像采集部透过所述拍摄区域对所述抛光垫的表面形貌进行图像采集；所述拍摄区域的面积大于所述抛光垫的面积；所述拍摄区域为开设在所述工件夹持部上的拍摄窗口，所述工件固定在夹持部后位于所述拍摄窗口的下方并紧邻所述拍摄窗口，所述抛光垫固定后位于所述工件的下方，所述图像采集部位于所述工件夹持部的上方并与所述拍摄窗口、所述抛光垫正对，能够对所述抛光垫的表面形貌进行实时采集。

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