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龙图腾网恭喜大阳日酸株式会社申请的专利混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115698373B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180035830.6，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法是由村田逸人;水野理规;安达啓辅;铃木克昌设计研发完成，并于2021-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的目的是提供一种成膜速度快且生产率优异的金属氮化膜的制造方法。提供一种金属氮化膜的制造方法，通过使用金属化合物原料和含氮化合物原料的化学气相生长法而在被处理基材的表面的至少一部分进行金属氮化膜的成膜，其中，含氮化合物原料包含肼和氨。

本发明授权混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种混合气体供给装置，该混合气体供给装置是供给包含肼化合物和氨的混合气体作为含氮化合物原料的装置，具备：原料容器，收容所述肼化合物；加热器，位于所述原料容器的周围，对所述原料容器进行加热；加热器调节装置，调节所述加热器的输出功率；导入路径，向所述原料容器导入载气；导出路径，从所述原料容器导出包含所述肼化合物的气体；稀释气体供给路径，供给稀释气体；氨供给路径，供给所述氨；混合气体导出路径，与所述导出路径连接，导出所述混合气体；稀释气体流量控制装置，位于所述稀释气体供给路径，控制供给到所述稀释气体供给路径的稀释气体的流量；氨流量控制装置，位于所述氨供给路径，控制供给到所述氨供给路径的氨的流量；混合气体流量计，位于所述混合气体导出路径，测定导出到所述混合气体导出路径的混合气体的流量；以及运算装置，基于所述稀释气体的流量、所述氨的流量及所述混合气体的流量的值，算出包含在所述混合气体中的肼化合物的流量，所述氨供给路径与所述导入路径、所述导出路径及所述混合气体导出路径中的至少任一个连接，所述稀释气体供给路径与所述导入路径及所述导出路径中的一个或两个连接，所述载气为从所述稀释气体供给路径供给的稀释气体、从所述氨供给路径供给的氨或它们的混合气体。

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