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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种传感器安装装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115683186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110873053.4，技术领域涉及：G01D11/16；该发明授权一种传感器安装装置是由马汝坤设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种传感器安装装置在说明书摘要公布了：本发明属于光电传感器技术领域，具体涉及一种传感器安装装置，包括圆环板状的安装支座和至少三个沿安装支座圆周均匀分布的柔性支撑座。柔性支撑座包括二维柔性铰链、支撑底座、上部圆柱和刚度控制孔。二维柔性铰链包括刚度调节板、相互垂直的第一柔性铰接链和第二柔性铰接链，刚度调节板两端分别固定连接第一柔性铰接链和第二柔性铰接链，第二柔性铰接链的铰接梁沿安装支座径向设置；紧固件连接支撑底座和安装支座；上部圆柱能抵接并支撑传感器；刚度控制孔沿柔性支撑座轴向延伸。本发明的传感器安装装置，能够平衡传感器的热变形且具有较高热阻，降低工作台受到的热冲击，结构和定位方式简单，便于加工且易于安装，降低设计制造成本。

本发明授权一种传感器安装装置在权利要求书中公布了：1.一种传感器安装装置，其特征在于，包括：安装支座1，所述安装支座1被配置为连接工作台，所述安装支座1为圆环板；至少三个柔性支撑座2，所述柔性支撑座2可拆卸连接于所述安装支座1，至少三个所述柔性支撑座2沿所述安装支座1的圆周间隔均匀分布，所述柔性支撑座2被配置为支撑传感器100，所述柔性支撑座2包括：二维柔性铰链，所述二维柔性铰链包括刚度调节板23、相互垂直的第一柔性铰接链22和第二柔性铰接链24，所述刚度调节板23的两端分别固定连接所述第一柔性铰接链22和所述第二柔性铰接链24，所述第二柔性铰接链24的铰接梁沿所述安装支座1的径向设置；支撑底座25，所述支撑底座25的一端固定连接所述第二柔性铰接链24，另一端抵接所述安装支座1，紧固件28连接所述支撑底座25和所述安装支座1；上部圆柱21，所述上部圆柱21的一端固定连接所述第一柔性铰接链22，另一端能够抵接所述传感器100；以及刚度控制孔26，所述刚度控制孔26沿所述柔性支撑座2的轴向延伸，并依次贯穿所述上部圆柱21、所述第一柔性铰接链22、所述刚度调节板23和所述第二柔性铰接链24。

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