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龙图腾网恭喜江苏大学申请的专利一种MEMS红外光源及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114249292B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111436494.4，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权一种MEMS红外光源及其制造方法是由刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS红外光源及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明属于红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源及其制造方法。所述MEMS红外光源在发热电极层和支撑材料背部位于衬底空腔区域引入对红外辐射具有高反射率的反射层，从而将发热电极层经由支撑薄膜向衬底空腔部分辐射的红外辐射能量反射回去，并通过发热电极层向上方辐射，加强能够被红外传感器利用的红外辐射能量，大幅提升MEMS红外光源的光电转换效率并降低加热功耗；同时引入超薄厚度不大于1微米红外发射层，在保证MEMS红外光源具有高的红外发射能力的同时，大幅降低发热电极层热质量，提升MEMS红外光源的调制频率并进一步降低加热功耗。

本发明授权一种MEMS红外光源及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS红外光源，包含衬底、支撑薄膜层、发热电极层、隔离层、发热电极焊盘、红外发射层、保护层和反射层，其特征在于：所述衬底包含空腔结构，所述支撑薄膜层设于具有空腔结构的衬底之上，与衬底形成四边固支结构连接，并在空腔结构上方形成悬浮区，在所述支撑薄膜层上方设有发热电极层，在悬浮区之外的发热电极层两侧设有发热电极焊盘，所述发热电极焊盘与所述发热电极层形成电连接，在所述发热电极层上方除发热电极焊盘之外的区域设有隔离层，在悬浮区上方对应的隔离层上设有红外发射层，所述红外发射层为表面粗糙、厚度在50-1000nm范围且具有高红外发射率的材料，为NiCr合金、TiN、TiAlN、非晶碳、SiC、NiCrO化合物、ZrO2、HfO2、La1-xCaxCrO3（0≤x≤0.5）或碳纳米管；所述保护层位于除发热电极焊盘之外的红外发射层、红外电极层和支撑薄膜层上表面，所述反射层位于空腔结构内，与空腔结构侧面的衬底以及空腔结构顶面的支撑薄膜层相连。

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