恭喜日本碍子株式会社松下谅平获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本碍子株式会社申请的专利晶片支撑台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210063877.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权晶片支撑台是由松下谅平;赤塚祐司设计研发完成，并于2022-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片支撑台在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶片支撑台，其能够改善晶片外周部的均热性。本发明的晶片支撑台具备：具有晶片载置面的陶瓷基体和埋设于陶瓷基体的多个加热器。陶瓷基体从晶片载置面朝着与晶片载置面相反侧的面依次具有第一加热器形成面、第二加热器形成面以及第三加热器形成面。多个加热器包括设置于第一加热器形成面的第一加热器、设置于第二加热器形成面的第二加热器以及设置于第三加热器形成面的第三加热器。第一加热器以位于陶瓷基体的中心的方式设置。第二加热器以位于第一加热器的外周的方式设置。第三加热器以与第二加热器重叠的方式设置并分别设置于将第三加热器形成面通过半径方向的线段分割成多个而成的区域中。
本发明授权晶片支撑台在权利要求书中公布了：1.一种晶片支撑台，具备：具有晶片载置面的陶瓷基体、和埋设于所述陶瓷基体的多个加热器，所述陶瓷基体从所述晶片载置面朝着与所述晶片载置面相反侧的面依次具有第一加热器形成面、第二加热器形成面以及第三加热器形成面，所述多个加热器包括设置于所述第一加热器形成面的第一加热器、设置于所述第二加热器形成面的第二加热器以及设置于所述第三加热器形成面的第三加热器，所述第一加热器以位于所述陶瓷基体的中心的方式设置，所述第二加热器以位于所述第一加热器的外周的方式设置，所述第二加热器分别设置于将所述第二加热器形成面通过与所述陶瓷基体呈同心圆状的边界分割成多个而成的区域中，所述第三加热器以与所述第二加热器重叠的方式设置，并分别设置于将所述第三加热器形成面通过半径方向的线段分割成多个而成的区域中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日本碍子株式会社，其通讯地址为：日本爱知县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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