恭喜中北大学王任鑫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜中北大学申请的专利差分电容式纤毛水听器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114955979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210525262.4，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权差分电容式纤毛水听器及其制造方法是由王任鑫;张文栋;李照东;张国军;何常德;杨玉华;崔建功设计研发完成，并于2022-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本差分电容式纤毛水听器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种差分电容式纤毛水听器及其制造方法，属于水下声纳传感器制造技术领域。本发明差分电容式纤毛水听器结构包括纤毛体、连接梁、中心连接体、上电极、钝化层、介质层、下电极、基底层等；制备方法，使用COMS‑MEMS单片集成工艺，在COMS工艺的后端层设置器件的结构，电路信号处理电子层在器件结构下方集成，各金属层间通过金属钨塞连接。由COMS‑MEMS单片集成工艺制备的差分电容式纤毛水听器具有一致性好、集成化、频带宽、灵敏度高、易封装、可批量生产等优点。
本发明授权差分电容式纤毛水听器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种差分电容式纤毛水听器，其特征在于：包括基底层，基底层上由下而上依次设置有第一层介质层、第一层金属层、第二层介质层、第二层金属层、......、第（n-1）层介质层、第（n-1）层金属层、第n层介质层、第n层金属层、多晶硅层以及钝化层，n≥3；第n层介质层上刻蚀形成有一个空腔，空腔的顶部为第n层金属层、底部为第（n-1）层金属层，空腔顶部的第n层金属层、多晶硅层以及钝化层部分形成有位于中心部位的中心连接体以及连接在中心连接体四周的四根连接梁，中心连接体上垂直固定有纤毛体，每根连接梁上分布设置有两个相连的上电极；相邻的各层金属层之间通过钨塞互连，第n层金属层作为上电极层并在其上设置有电极焊点，第（n-1）层金属层作为下电极层，下电极层设置有相连的八个与上电极一一相对应的下电极，第（n-2）层金属层作为电子层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中北大学，其通讯地址为：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号