恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所翟玉卫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115200720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210633543.1,技术领域涉及:G01J5/48;该发明授权基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法和装置是由翟玉卫;吴爱华;刘岩;李灏;王维;丁晨;丁立强;赵丽;范雅洁设计研发完成,并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法和装置在说明书摘要公布了:本申请适用于基于光学原理的微电子器件温度检测领域,提供了一种基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法和装置,该方法包括:基于参考图像和被测件温度变化,获取参考图像的第一区域和第二区域,计算两个区域的清晰度,调节三轴纳米位移台;每次调节三轴纳米位移台后,获取当前测量图像,计算两个区域的清晰度;当前测量图像仍包含上述两个区域;若被测件的温度、三轴纳米位移台的位移、第二区域清晰度满足预设温度阈值条件、第二预设位移阈值条件和第二预设清晰度条件,并满足第一预设位移阈值条件和第一预设清晰度条件,确定测量结果。本申请能够提高测温结果准确性,为实现高空间分辨率下的光热反射成像测温奠定基础。
本发明授权基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种基于双区域检测的热反射热成像自动重聚焦方法,其特征在于,包括:基于参考图像和被测件温度变化,获取所述参考图像的第一区域和第二区域,计算所述第一区域清晰度和所述第二区域清晰度;所述参考图像为温度不变时聚焦清晰的图像;所述第一区域包含被测件目标区域图像;所述第二区域包含图像对比度明显的图形;基于所述被测件温度变化和所述第一区域清晰度和所述第二区域清晰度,调节三轴纳米位移台;控温装置获取所述被测件温度变化;所述被测件放置在所述控温装置上;所述控温装置放置在所述三轴纳米位移台上;所述基于所述被测件温度变化和所述第一区域清晰度和所述第二区域清晰度,调节三轴纳米位移台,包括:根据所述被测件的温度变化情况预测所述被测件垂直位置的变化方向;基于所述被测件垂直位置的变化方向,设定所述三轴纳米位移台的初始步进;基于所述三轴纳米位移台的初始步进,向所述被测件垂直位置的变化方向的相反方向移动;所述基于所述被测件温度变化和所述第一区域清晰度和所述第二区域清晰度,调节三轴纳米位移台,还包括:当所述三轴纳米位移台移动多次后,比较所述第二区域清晰度的数据值和上一次所述第二区域清晰度的数据值,若所述第二区域清晰度的数据值比所述上一次第二区域清晰度的数据值大,则所述三轴纳米位移台的步进为上一次三轴纳米位移台的步进,移动方向与上一次移动方向相同;若所述第二区域清晰度的数据值比上一次第二区域清晰度的数据值小,则基于所述初始步进重新计算所述三轴纳米位移台的步进,移动方向与上一次移动方向相反;每次调节所述三轴纳米位移台后,获取当前测量图像,计算所述第一区域清晰度和所述第二区域清晰度;当前测量图像仍包含所述第一区域和所述第二区域;判断所述被测件的温度、所述三轴纳米位移台的位移、所述第二区域清晰度是否满足预设温度阈值条件、第二预设位移阈值条件和第二预设清晰度条件;若所述被测件的温度、所述三轴纳米位移台的位移、所述第二区域清晰度满足预设温度阈值条件、第二预设位移阈值条件和第二预设清晰度条件,则继续调节所述三轴纳米位移台,判断所述三轴纳米位移台的位移、所述第一区域清晰度是否满足第一预设位移阈值条件和第一预设清晰度条件;若所述三轴纳米位移台的位移、所述第一区域清晰度满足所述第一预设位移阈值条件和所述第一预设清晰度条件,确定测量结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所,其通讯地址为:050051 河北省石家庄市合作路113号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。