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龙图腾网恭喜广东越海集成技术有限公司申请的专利一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114927409B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210679444.7，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法是由卢晶晶设计研发完成，并于2022-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法，所述再次利用方法包括依次进行的铜镍锡银金属层剥离、钛种子层剥离、PI绝缘层剥离和RDL金属层剥离；其中，所述PI绝缘层剥离包括依次进行的第一干法除胶、第二干法除胶、第三干法除胶和第四干法除胶；所述第一干法除胶的时间和所述第四干法除胶的时间均小于所述第二干法除胶时间或所述第三干法除胶时间。避免良率过低而导致的晶圆报废，提升了晶圆的利用率。

本发明授权一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法在权利要求书中公布了：1.一种封装后存在缺陷晶圆的再次利用方法，其特征在于，所述再次利用方法包括依次进行的铜镍锡银金属层剥离、钛种子层剥离、PI绝缘层剥离和RDL金属层剥离；其中，所述PI绝缘层剥离包括依次进行的第一干法除胶、第二干法除胶、第三干法除胶和第四干法除胶；所述第一干法除胶的时间和所述第四干法除胶的时间均小于所述第二干法除胶时间或所述第三干法除胶时间；所述第一干法除胶中微波的功率为800-900W；所述第一干法除胶中氧气的流量为800-900sccm；所述第一干法除胶中CF4的流量为120-130sccm；所述第一干法除胶的时间为10-20s；所述第二干法除胶中微波的功率为1200-1300W；所述第二干法除胶中射频的功率为600-700W；所述第二干法除胶中氧气的流量为800-900sccm；所述第二干法除胶中CF4的流量为120-130sccm；所述第二干法除胶的时间为80-160s；所述第三干法除胶中微波的功率为700-800W；所述第三干法除胶中射频的功率为300-400W；所述第三干法除胶中氧气的流量为700-800sccm；所述第三干法除胶中CF4的流量为120-130sccm；所述第三干法除胶的时间为60-120s；所述第四干法除胶中微波的功率为800-900W；所述第四干法除胶中射频的功率为290-310W；所述第四干法除胶中所用气体为氢气和氮气的混合气体，氢气占混合气体体积的3-4%；所述混合气体的流量为1200-1300sccm；所述第四干法除胶的时间为20-40s。

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